ニュース

日本経済新聞2月
センサーとAIチップ合体、MEMSで製造 ボッシュ示唆 ...
MEMS Engineer Forum 2025において、ボッシュが300mmウエハーでMEMSを製造することを示唆した（出所:田中秀治）MEMS（Micro Electro Mechanical Systems、微小電子 ...